低真空システム付加型電子線マイクロアナライザー

１．概要

電子線マイクロアナライザー（EPMA）は、数ミクロンの微小領域から数センチの大領域まで、外観の観察及び定性・定量分析のできる分析装置です。微量元素の分布状態を２次元の連続した情報として捕らえることができるため、さまざまな現象の解明に利用されています。

コンクリート材料研究室では、通常は高真空状態（真空度：＜1.3×10^-3Pa程度）で分析を行う電子線マイクロアナライザー（EPMA）を改造し、低真空状態（真空度：＜20～5Pa 程度）でも分析を行うことが出来る低真空システム付加型電子線マイクロアナライザー（LV−EPMA）を製作しました。これにより、分析目的に応じて真空度を選択することで、迅速かつ精度よい分析が可能となりました。

２．特徴

• 高真空・低真空切り替え式で、どちらの真空度でも観察・分析を行うことができます。
• 導電性物質はもとより、非導電性物質でも蒸着は必要ありません（低真空）。
• より現状に近い状況での観察・分析が可能です（低真空）。
• 電子線を照射することによる試料ダメージが大幅に軽減します（低真空）。
• アウトガスの多い試料などは測定までの時間が大幅に短縮されます（低真空）。

３．構成・諸元

• 電子線マイクロアナライザー：　日本電子（株）製　JXA-8100
• 低真空システム：　（株）コムテック製　JXA-8100付加型低真空システム
• エネルギー分散型X線分析装置：　（株）エダックスジャパン製　Genesis2000