低真空走査型電子顕微鏡

概説

細く絞られた入射電子ビームを試料表面に走査させ、発生した電子を検出し、発生量を輝度の信号に変換すると目的の画像が得られます。２次電子は凹凸のうち凸部分の方が発生量が多いため、凸部分が明るく、凹部分が暗いものとなり、三次元的な凹凸をディスプレイや写真のような二次元の像として表すことができます。