試料（水溶液状態）を熱で分解して原子蒸気を作り、その中に測定する原子を励起させる波長の光を通過させると、蒸気中にあるその原子の数に応じて吸光が起こります。この吸光量から試料濃度を求めます。試料中の特定元素の定性および定量に用いられます。

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