低真空システム付加型電子線マイクロアナライザー

コンクリート材料研究室

電子線マイクロアナライザー(EPMA)は、数ミクロンの微小領域から数センチの大領域まで、外観の観察及び定性・定量分析のできる分析装置です。微量元素の分布状態を2次元の連続した情報として捕らえることができるため、さまざまな現象の解明に利用されています。

特徴・諸元

コンクリート材料研究室では、通常は高真空状態(真空度:<1.3×10-3Pa程度)で分析を行う電子線マイクロアナライザー(EPMA)を低真空状態(真空度:<20~5Pa 程度)でも分析を行うことが出来る低真空システム付加型電子線マイクロアナライザー(LV-EPMA)を製作しました。これにより、分析目的に応じて真空度を選択することで、迅速かつ精度よい分析が可能となりました。

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