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非常に細かく絞った電子線を試料の表面に照射し、その部分から発生する特性X線の波長や強度、二次電子や反射電子の量等を測定します。これにより、試料の形状の他、試料表面に含まれる元素の種類や量及びその分布状態等を総合的に調べることができます。
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