超高分解能電解放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)

細く絞った電子線を真空中で試料上に二次元的に走査し、試料表面から放出される二次電子等の強度を画像として得ることにより、物質の形状を拡大して観察する装置です。

特徴

FE-SEMは冷陰極電界放射型の電子線源を用いることにより、従来のタングステンの電子線源に比べて低加速電圧・高分解能であり、数十万倍の倍率での観察も可能になっています。低加速電圧でも高分解能であることから、非導電性物質でも無蒸着でごく表面の観察が可能です。また、エネルギー分散型X線分析装置(EDS)が付属しているため、観察した物質の元素組成を測定することも可能です。

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