蛍光X線分析装置

物質にＸ線を照射すると、その物質を構成している元素に固有のエネルギー（蛍光Ｘ線）が放出されます。この蛍光Ｘ線を分光し、波長と強度を測定することで物質に含まれる元素の種類と量を分析することができます。

特徴・諸元

試料を構成する元素の定性分析、定量分析（FP法、検量線法）が迅速に行えます。また、試料画像上で局所分析（分析位置指定やマッピング測定、最小分析径0.5mm）などができます。

分析元素範囲	Be～U
試料形状	固体、液体、粉体、ディスク