超高分解能電解放出型走査電子顕微鏡（ＦＥ－ＳＥＭ）

特徴

FE-SEMは冷陰極電界放射型の電子線源を用いることにより、従来のタングステンの電子線源に比べて低加速電圧・高分解能であり、数十万倍の倍率での観察も可能になっています。低加速電圧でも高分解能であることから、非導電性物質でも無蒸着でごく表面の観察が可能です。また、エネルギー分散型X線分析装置（EDS）が付属しているため、観察した物質の元素組成を測定することも可能です。